shallow trench isolation解釋
2008年1月23日—談到STIeffect請問板上的先進們~~那是什麼意思呢??何謂STIeffect?,Chip123科技...STI則為ShallowTrenchIsolation(淺溝分離法)的簡稱,與LOCOS相同 ...,淺槽隔離,即shallowtrenchisolation,簡稱STI。通常用於0.25um以下工藝,通過利用氮化硅掩膜經過...
浅槽隔离工艺(STI)
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2010年11月28日—相信很多在现在看工艺厂的相关文档时,会看到有些图上面标有STI的注释,STI是英文shallowtrenchisolation的简称,翻译过来为浅槽隔离工艺。
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